TESC7080
泰思曼 TESC7080 系列高壓電源專(zhuān)為靜電卡盤(pán)的應用而設計，能夠在 10ms 內輸出精確的電壓，并在 1s 內切換極性，從而為半導體制程過(guò)程提供保護。它具有可逆的對地參考輸出極性，也可以輸出浮地雙極電壓，并有相應的浮地接口。它還有完善的故障診斷和狀態(tài)監測功能，可以將數據傳送到用戶(hù)界面。它的封裝設計緊湊輕便，可 OEM。
典型應用：E-Chuck；靜電卡盤(pán)；靜電吸盤(pán)；靜電吸附系統
產(chǎn)品資料 返回列表
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 浮地.雙極性輸出.極性可切換
- 中心點(diǎn)監測
- 模擬量控制
- 485 控制
- 以太網(wǎng)控制
聯(lián)系我們
產(chǎn)品規格
輸入電壓
+24VDC±5%，5A。
輸出極性
浮地，雙極性輸出,極性可切換。
最大輸出電壓
0 至±5kV。
最大輸出電流
2mA。
最大輸出功率
20W。
電壓調節
負載
轉換速率
典型 1s
最大循環(huán)頻率
0.5Hz。
過(guò)沖
<設定值的 10%
紋波
3Vpp。
線(xiàn)路
在任何負載條件下，10%輸入電壓變化<0.1%
負載
從零到滿(mǎn)負載<1.3%。
電壓顯示
分辨率= 100V。精度=實(shí)際輸出的±1%(±10V 偏置)。
電流顯示
分辨率=100μA。精度=實(shí)際輸出±100μA 偏移的±2%。
典型負載電容
<20nF(對于其他負載電容，請聯(lián)系泰思曼)。
保護
電弧和短路保護。配備輸入和輸出電流限制。輸出電流限值可設置在 0.1mA 至 2mA 范圍內。連續電弧保護方式需定制。
通信
通過(guò) DB9 模擬量控制，也可選擇 RS-485 串行接口、USB 或以太網(wǎng)進(jìn)行控制。
注意
當以太網(wǎng)連接到 LAN 端口/485 連接時(shí)，串行通信將被禁用。
前面板控制
具有用于本地控制的前面板按鈕。
切換
手動(dòng)改變輸出極性。
輸出開(kāi)/關(guān)
軟開(kāi)關(guān)方式控制高壓輸出。
旋轉控制/輸入
用于導航和輸入值更改。
穩定性
預熱 1 小時(shí)后，在恒定操作條件下，<0.3%/小時(shí)，<0.3%/8 小時(shí)。
溫度系數
每攝氏度<0.3%。滿(mǎn)載時(shí)<0.1%p-p，最大輸出。
環(huán)境溫度
工作時(shí)
0?C 至 45?C
儲存時(shí)
-20?C 至 70?C
濕度
0 至 85%RH，非冷凝。
冷卻
自然冷卻。