靜電卡盤(pán)_靜電應用

靜電卡盤(pán)

靜電卡盤(pán)是一種適用于真空環(huán)境或等離子體環(huán)境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理進(jìn)行超薄晶圓片的平整均勻夾持。該產(chǎn)品廣泛應用于 PVD、PECVD、ETCH、EUVL、離子注入等高端半導體制造裝備。